XYの比較

これらのシステムは、個別のコンポーネントとして、またはカスタム インターフェイス、ケーブル管理ソリューション、真空フィードスルー、アプリケーションに最適化された統合花崗岩とアルミニウム構造を備えた完全な統合モーション システムとして構成および供給で​​きます。

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高精度 3 軸 XY-Theta ステージ (XYT アセンブリ) は、レーザー精密機械加工、半導体およびフォトニクスのテストと生産、医療機器の製造に関連する多くのテストおよび生産プロセスで重要です。 PI は、産業用モーション コントローラーを備えた統合 XY-Theta モーション システム向けに、幅広く奥深いソリューション セットを提供します。 これらのシステムは、個別のコンポーネントとして、またはカスタム インターフェイス、ケーブル管理ソリューション、真空フィードスルー、アプリケーションに最適化された統合花崗岩とアルミニウム構造を備えた完全な統合モーション システムとして構成および供給で​​きます。

エアベアリング回転テーブルを備えた A-322 平面エアベアリング XY ステージをベースにした超高性能の花崗岩ベースの XY-Theta ステージ アセンブリ。

コンパクトなエアベアリングベースの薄型 XY-θ ステージ アセンブリ。 A-311 XYエアベアリングステージの動作をご覧ください

PI のエンジニアリング チームは、エア ベアリング技術と多軸モーション ステージ システムに関する広範な専門知識と経験を持っています。 人工エアベアリング位置決めシステムの超精密性能とその非摩耗性により、直線運動と回転運動を組み合わせた半導体アプリケーションにとって理想的なソリューションとなります。

A-311 ロングトラベル XY エアベアリングステージと 360° Theta-Z 回転用の A-621 ロータリーステージをベースにしたカスタム XY-Theta ステージ

上の画像では、カスタムの薄型 A-311 エア ベアリング平面 XY モーション テーブルが、高精度 A-621 シリーズ エア ベアリング回転ステージと組み合わされて、精密 XYT アセンブリになっています。

ビデオ: 薄型 XY 平面ステージ (モデル A-311) とダイレクトドライブ エア ベアリング Theta-Z ステージ (モデル A-623) をベースにした XY-Theta エア ベアリング ステージ。 このコンパクトな 3 軸ステージは、高性能レーザー、テスト、計測アプリケーションに最適です。

より高い自由度が必要な場合は、XY ステージを薄型 Z-Tip-Tilt (ZTT) モーション モジュールと組み合わせて、図に示す半導体計測アプリケーション用の 5-DOF ウエハ ステージなどの 5 軸システムを形成できます。下のビデオ。 ZTT モジュールは、6DOF モーション アプリケーションの XY-Theta ステージに追加することもできます。

ビデオ: エアベアリングを備えた 5 軸ウェーハ計測ステージ

PI XY-Theta 3 軸ステージ アセンブリは、ACS 産業用モーション コントロール コンポーネントを利用しています。 ACS に基づく PI コントローラーは、アプリケーションのパフォーマンスを最高にするために最適化された構成を使用します。 これには、レーザー制御モジュール (LCM) / レーザー制御インターフェース (LCI) ハードウェアを介したモーション同期デバイスのトリガーや、セーフ トルクなどの機能安全機能など、すぐに使用できる最適化されたシステム パラメーター情報を備えた事前設定されたシステムが含まれます。オフ。

ACS レーザー制御モジュール

PL e / SIL 3 認定のセーフ トルク オフ (STO) 機能は、機械製造業者に機械の安全性を実装するためのシンプルでコスト効率の高い方法を提供します。 STO は、一部の PI モーション コントローラーで利用できます。

多くのアプリケーションでは、ツールの統合にはコンパクトさが重要です。 V-508 薄型リニア ステージ / V-610 薄型回転ステージ ダイレクトドライブ多軸モーション システムは、非常に薄型、非常にコンパクトで軽量、高性能の 3 軸アセンブリの一例です。また、技術的に柔軟で、ナノメートルからミクロンの範囲の誤差許容範囲で、迅速なステップとセトリング、およびスムーズに調整されたスキャンアプリケーションの両方に最適に対処します。

光路用の明確な開口部を備えた XY-Theta ステージ アセンブリは、25x80mm の移動距離を提供します。 このアセンブリは、2 つの V-508 コンパクト直線移動ステージと 1 つの V-610 ダイレクトドライブ回転ステージで構成されています。

精密動作の高スループット産業オートメーション アプリケーションには、通常、より高い負荷と加速度を伴う反復動作が含まれます。 ここで、上に示したダイレクト ドライブ回転テーブルを備えた V-817 シリーズ精密オートメーション ステージ アセンブリは、効率的な 3 相リニア モーターとトルク モーターによって高加速と高デューティ サイクルの動作を提供し、高い連続力とピーク力を提供します。 航空機グレードのアルミニウム合金を使用した堅固なステージ構造と設計により、短時間にわたる高い衝撃を適切な精度で処理できる剛性が得られます。 負荷特性と長い動作寿命の両方を実現するために、高精度のトラックおよびレールベアリングが実装されています。 高トルク出力を備えた統合された高速ダイレクトドライブ回転ステージは、動的なステップ整定とスキャン性能に使用されます。